電子槍電子槍是用來產(chǎn)生受控的電子束原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH，并完成電子束的預(yù)聚焦和強度控制的裝置。

    C2)抽真空系統(tǒng)為了保證電子的高速運動，必須將真空室抽至1.3x10^-2-1.3x10^-4Pa的高真空度，否則無法避免電子原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH與氣體分子的碰撞，影響電子的高速運動。除此之外，抽真空后可消除加工時由于金屬蒸汽的影響使電子發(fā)射不穩(wěn)定，抽真空后還可減小被加工表面的污染。

    }3)電子束控制系統(tǒng)電子束控制系統(tǒng)包括束流強度控制、束流聚焦控制及束流位置控制。束流強度控制是通過改變加在陰極上的負(fù)高壓〔50一150kV以上的負(fù)高壓)來實現(xiàn)的。為了避免加工時熱量擴散至工件的不加工部位，常使用間歇性的電子束。所以加速電壓應(yīng)是脈沖電壓。束流聚焦原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH控制是通過“電磁透鏡”的磁場作用，使電子束流壓縮成截面直徑很小的束流，以達(dá)到提高電子束的能量密度。有時為了獲得更細(xì)小的焦點，須進(jìn)行二次聚焦。束流位置的控制是用磁偏轉(zhuǎn)控制電子束焦點位置的方法實現(xiàn)的，具體方法是通過一定程序改變偏轉(zhuǎn)電壓或電流，使電子束按某種規(guī)律運動。

    C4)工作臺系統(tǒng)電子束的偏轉(zhuǎn)〔移動)只能在幾原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH毫米范圍之內(nèi)調(diào)控，移動過大將會降低工件的加工精度，因此需用伺服電機控制工作臺作縱橫兩個方向運動來獲得工件的更大移動范圍。